特許

J-GLOBAL ID：200903078519987087

単結晶引上げ用高純度黒鉛部材およびその製造方法

発明者： 荒堀 忠久
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-148737
公開番号（公開出願番号）：特開平8-337493
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【構成】(1)金属不純物(Fe、Ni、Cr、Cu、Na等)の含有量が1ppm以下である高純度黒鉛部材(ルツボ、ヒーター等の黒鉛製品)。(2)成形、焼成および黒鉛化後の黒鉛部材を10-1〜10-6Torrの減圧下で1500〜2500°Cの温度域で加熱処理する。【効果】この部材を用いれば、不純物による汚染が少なく、高品質のシリコン単結晶を製造することが可能である。この高純度の黒鉛部材は、本発明方法により容易に、かつ特別の設備を必要とせずに製造することができる。

請求項（抜粋）：

金属不純物含有量が1ppm以下であることを特徴とする単結晶引上げ用高純度黒鉛部材。

IPC (3件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 B ,  H01L 21/208 P