特許
J-GLOBAL ID：200903078527629602
クリーンルームロボット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
碓氷 裕彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-091444
公開番号（公開出願番号）：特開平6-297381
出願日： 1993年04月19日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、装置周辺の環境における気流の淀みを防止し、清浄度を速やかに回復させることを目的とする。【構成】 走行台車1の上面開口部7と側面開口部8との間の貫通孔内に送風機9を設けておく。走行台車1が製造装置2の前に所定距離以内に停止した時には、送風機9を駆動し、走行台車1と製造装置2との隙間の空気を強制的にスムーズに流す。これにより、主に走行台車1とマニピュレータ4よりなるロボットの周辺環境の清浄度を高めることができる。
請求項（抜粋）：
製造装置が配置されると共に天井部から床部へ流下する清浄空気流が形成されたクリーンルーム内で使用され、複数の方向に自由度を有する作業用マニピュレータと、このマニピュレータを載せて所望の位置に移動走行する走行台車とから成り、前記製造装置に対して作業するクリーンルームロボットであって、前記製造装置の側面と前記走行台車の側面との間の空間において、下方に向けて流れる空気流を形成する空気流形成手段を備えるクリーンルームロボット。
IPC (4件)：
B25J 19/00
, B25J 5/00
, B25J 13/08
, F24F 7/06
