特許

J-GLOBAL ID：200903078537979768

レジスト塗布装置

発明者： 菅原 宗一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-186635
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009340
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】 被塗布基板上に塗布されたレジスト膜にストリエーションが発生することを防止できるレジスト塗布装置を提供する。【解決手段】 本発明に係るレジスト塗布装置は、ウエハ19にレジスト2を吐出する吐出ノズル17と、レジスト2を収納しているレジスト瓶1と、レジスト瓶1と吐出ノズル17とを結ぶ配管3,7,11,14,16と、配管3,7の間に取り付けられた、配管3,7内のレジストを吐出ノズル17側へ押し出すためのポンプ5と、ポンプ5と吐出ノズル17との間に配置され、配管11,14の間に取り付けられた気泡検知センサー13と、気泡検知センサー13と吐出ノズル17との間に配置され、配管14,16の間に取り付けられた三方弁15と、気泡検知センサー13で気泡を検知すると三方弁15の流れをドレイン側へ切り替えるように制御する制御部26と、を具備するものである。

請求項（抜粋）：

被塗布基板にレジストを吐出する吐出ノズルと、前記レジストを収納している容器と、前記容器と前記吐出ノズルとを結ぶ配管と、前記配管に取り付けられた、前記配管内のレジストを前記吐出ノズル側へ押し出すためのポンプと、前記ポンプと前記吐出ノズルとの間に配置され、前記配管に取り付けられた気泡検知センサーと、前記気泡検知センサーと前記吐出ノズルとの間に配置され、前記配管に取り付けられた三方弁と、前記気泡検知センサーで気泡を検知すると前記三方弁の流れをドレイン側へ切り替えるように制御する制御手段と、を具備することを特徴とするレジスト塗布装置。

IPC (5件)：

B05C 5/00 101 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027 ,  B05C 11/08

FI (5件)：

B05C 5/00 101 ,  B05D 1/40 A ,  G03F 7/16 502 ,  B05C 11/08 ,  H01L 21/30 564 C

Fターム (22件)：

2H025AA00 ,  2H025AB16 ,  2H025EA05 ,  4D075AC64 ,  4D075AC99 ,  4D075BB99Y ,  4D075CA48 ,  4D075DB14 ,  4D075DB31 ,  4D075DC22 ,  4F041AA06 ,  4F041AB02 ,  4F041BA05 ,  4F041BA34 ,  4F042AA07 ,  4F042BA27 ,  4F042CB18 ,  4F042CB24 ,  4F042EB05 ,  4F042EB09 ,  4F042EB29 ,  5F046JA01