特許
J-GLOBAL ID：200903078538580052
半導体ウエハの熱処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 孝雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-359489
公開番号（公開出願番号）：特開平6-192840
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月12日
要約：
【要約】【目的】 従来に比べて互いに近い温度履歴で複数枚の半導体ウエハを加熱することができるとともに、炉芯管を洗浄することが容易な熱処理装置を提供する。【構成】 炉芯管の長手方向に沿った外周に複数段に区分されたヒータ30t ,30c ,30b を設置し、ヒータの各段にはそれぞれにヒータ熱電対32t ,32c ,32b を設ける。また、載置台40にもプロファイラ熱電対52t ,52c ,52b を設置する。半導体ウエハを炉芯管内に搬入する以前はヒータ熱電対によって検出された温度を制御量として各ヒータの出力を調節し、一方、半導体ウエハを搬入すると制御ループを切換え、プロファイラ熱電対で検出された温度を制御量として各ヒータの出力を調節する。
請求項（抜粋）：
複数枚の半導体ウエハの熱処理を行なうための熱処理装置であって、(A)複数枚の半導体ウエハを収納する炉芯管と、(B)前記炉芯管の外側に設置され、前記炉芯管の長手方向に沿って複数に区分されたヒータと、(C)前記各ヒータにそれぞれ対応付けられ、前記ヒータと前記炉芯管との間の所定の位置に設けられた複数の第1の温度検出器と、(D)複数枚の半導体ウエハを載置するための載置台と、(E)前記各ヒータにそれぞれ対応付けられ、前記載置台の長手方向に沿って前記載置台に設けられた複数の第2の温度検出器と、(F)前記載置台に載置された複数枚の半導体ウエハと前記第2の温度検出器とを前記炉芯管内に搬入・搬出する駆動機構と、(G)前記複数枚の半導体ウエハが前記炉芯管内に搬入されたことを示す搬入信号を出力する搬入信号出力手段と、(H)前記複数枚の半導体ウエハが前記炉芯管内に搬入される際に、前記搬入信号出力手段から前記搬入信号を受ける以前には前記第1の温度検出器によって検出された温度を制御量として前記各ヒータの出力を調節するとともに、前記搬入信号出力手段から受けた前記搬入信号に応じて制御ループを切換え、前記第2の温度検出器で検出された温度を制御量として前記各ヒータの出力を調節するコントローラと、を備える半導体ウエハの熱処理装置。
IPC (3件)：
C23C 16/52
, H01L 21/22
, H01L 21/324
