特許
J-GLOBAL ID：200903078543602676
プラズマディスプレイパネル用基板、その製造方法、その保護膜成膜装置、およびプラズマディスプレイパネル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-205118
公開番号（公開出願番号）：特開2003-022755
出願日： 2001年07月05日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】 AC型プラズマディスプレイパネル用基板における誘電体を保護する保護膜の表面を、簡便な方法で清浄状態に保てるようにする。【解決手段】 AC型プラズマディスプレイパネル用基板1は、電極4を含む基板本体3を有する。この基板本体3の表面上には誘電体5が形成される。この誘電体5の表面には、誘電体5を放電によるスパッタから保護するための第1保護膜6aが形成され、さらに第1保護膜6aの上に第2保護膜6bが形成される。第2保護膜6bは第1保護膜6aよりも不純物吸湿性が小さい膜質を有する。
請求項（抜粋）：
電極を含む基板本体と、前記基板本体の表面上に形成された誘電体と、前記誘電体を放電によるスパッタから保護するために前記誘電体の表面に形成された第1保護膜と、前記第1保護膜の表面上に形成された第2保護膜とを備え、前記第2保護膜は前記第1保護膜よりも不純物吸湿性が小さい膜質であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用基板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 11/02 B
, H01J 9/02 F
5C027AA07
, 5C040GE02
, 5C040GE07
, 5C040GE09
, 5C040JA07
, 5C040JA31
, 5C040KA04
, 5C040KB09
, 5C040KB19
, 5C040MA10
, 5C040MA23
