特許

J-GLOBAL ID：200903078548943900

固体撮像素子及びその製造方法

発明者： 遠山 茂
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-263310
公開番号（公開出願番号）：特開2000-101056
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 従来に比して薄い平坦化層を有することにより素子上の凹凸を平坦化することができ、光検出素子に対するマイクロレンズの焦点ズレ、或いは、シェーディングが発生する等の問題を回避できる固体撮像素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 固体撮像素子は、マトリックス状に配列された複数の光検出素子(12、13、14)と、光検出素子で発生した信号電荷を読み出す垂直CCD電極18と、垂直CCD電極18からの信号電荷を転送する水平CCD電極と、水平CCD電極からの信号電荷を電荷-電圧変換して出力する出力部とを有している。この固体撮像素子では、少なくとも光検出素子(12、13、14)及び垂直CCD電極18の上層にSi酸化膜17を介して金属遮光膜20が形成され、光検出素子上の透過窓(21)が金属遮光膜20の酸化物として形成されている。

請求項（抜粋）：

マトリックス状に配列された複数の光検出素子と、前記光検出素子で発生した信号電荷を読み出す垂直電荷結合素子と、該垂直電荷結合素子からの信号電荷を転送する水平電荷結合素子と、該水平電荷結合素子からの信号電荷を電荷-電圧変換して出力する出力部とを備えた固体撮像素子において、少なくとも前記光検出素子及び前記垂直電荷結合素子の上層に絶縁膜を介して金属遮光膜が形成され、前記光検出素子上の透過窓が前記金属遮光膜の酸化物として形成されていることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (2件)：

H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 V

Fターム (20件)：

4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA04 ,  4M118CA34 ,  4M118CA40 ,  4M118CB13 ,  4M118DA03 ,  4M118EA01 ,  4M118EA20 ,  4M118FA06 ,  4M118GB11 ,  4M118GD04 ,  5C024AA01 ,  5C024CA10 ,  5C024CA31 ,  5C024EA04 ,  5C024FA01 ,  5C024FA11 ,  5C024GA11