特許
J-GLOBAL ID：200903078554873825
スピン式コーティング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-007921
公開番号（公開出願番号）：特開平6-210230
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：
【要約】【構成】 フォトレジスト用ノズル8を先端部に備えるアーム11には、溶剤用ノズル10が備えられており、ワーク1を低速回転させながらワーク1中心部付近にフォトレジストを吐出する際には、フォトレジストと所定の距離をおいて、リング状に溶剤を吐出させる。【効果】 フォトレジストの粘度が上昇して、フォトレジストが拡がり難くなるワーク1の周辺部でフォトレジストと溶剤が混じることにより、フォトレジストの粘度が低下し、フォトレジストのスベリが向上するので、フォトレジストの吐出量が少ない場合でも、ワーク1全面に均一なコーティング膜を形成でき、製品のコストダウンを図れる。
請求項（抜粋）：
基板上にコーティング材を吐出するコーティング材吐出手段が設けられ、コーティング材が吐出された上記基板を回転させることにより、基板上にコーティング膜を形成するスピン式コーティング装置において、上記基板上に溶剤を吐出する溶剤吐出手段が設けられていることを特徴とするスピン式コーティング装置。
IPC (3件)：
B05C 11/08
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
