マルチワイヤーソーに用いるワイヤー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本博光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-169204
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010514
出願日： 1997年06月25日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】【課題】スラリー保持力を向上させることで、テーブル降下スピードを上げ、スライス時間を短縮し、生産効率の向上を図ることができるようにする。【解決手段】ワイヤー8aは、1本のワイヤーを螺旋状にねじった形状に加工する。このような加工を施すと、表面に螺旋状の凹部が形成される。このワイヤー8aを用いてマルチワイヤーソーによりシリコンブロックを切削する場合、ワイヤー表面の凹部にスラリー(砥粒とオイルが混じった切削液)が保持される。

請求項（抜粋）：