特許
J-GLOBAL ID:200903078556190890
高純度銅単結晶鋳塊の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
丸岡 政彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-268192
公開番号(公開出願番号):特開平5-078195
出願日: 1991年09月19日
公開日(公表日): 1993年03月30日
要約:
【要約】【目的】 原料として用いた高純度銅材の持つ望ましい特性を損なうことなく、所望の形状の高純度銅単結晶鋳塊を製造する方法の提供。【構成】 製造する鋳塊の外形に対応する内部形状を有する黒鉛鋳型1を、その外壁と黒鉛るつぼ2との間に一定の空間を残して、黒鉛るつぼ内に固定し、黒鉛鋳型内に高純度銅材6を、また前記空間内に銅材7を入れ、全体を石英製ベルジャー4内に納めてベルジャー内を真空とし、ベルジャー周囲に設けた可動型の高周波コイルにより銅材を加熱溶解させて目的の鋳塊を製造する。
請求項(抜粋):
銀と硫黄の合計含有量が1ppm 以下で、かつ純度が99.999%以上の高純度銅を原料とし、原料の高純度特性を保持したまま高真空中において単結晶鋳塊を製造する方法において、底部が逆円錐状に尖った鋳造空間を有する柱状の黒鉛鋳型を黒鉛るつぼ内に、鋳型とるつぼとの間に銅の溶湯を保持できる空間を残して鉛直に固定した後、単結晶鋳塊製造用銅原料を鋳型内に入れると共に、鋳型外壁と黒鉛るつぼ内壁との間に設けた空間に、同一または異なる品位の保温・伝熱用の銅材を充填し、次いで高周波加熱により前記銅原料および銅材を溶解し、高周波コイルで鋳型を加熱しながら 0.1〜20 mm/min の上昇速度でコイルを移動させてるつぼ内の銅原料を高純度銅単結晶鋳塊となすことを特徴とする高純度銅単結晶鋳塊の製造方法。
IPC (7件):
C30B 29/02
, B22D 7/00
, B22D 21/00
, B22D 23/00
, B22D 23/06
, B22D 27/04
, C30B 11/00
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