特許

J-GLOBAL ID：200903078562344700

固相シートの製造方法

発明者： 佃 至弘 ,  吉田 浩司 ,  山下 善二郎 ,  五十嵐 万人 ,  矢野 光三郎
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370166
公開番号（公開出願番号）：特開2002-237465
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】【課題】 金属材料もしくは半導体材料の融液から材料損失を低減させながら平坦で寸法精度の高い固相シートを効率的に製造する方法を提供する。【解決手段】 金属材料もしくは半導体材料の融液から固相シートを製造する方法は、平坦な基体1の表面を融液に接触させることによってその基体表面上に固相シート3を形成する方法であって、その基体表面は、その周縁より内側設けられた周縁溝12によって周辺部26と内側部1-Gに区画し、その内側部に成長した固相シートを製品として使用する。

請求項（抜粋）：

成長面を有する基体を、金属材料もしくは半導体材料のうち少なくともいずれか一方を含有する材料の融液に接触させ、前記材料を基体に成長させることで、前記材料の固相シートを製造する方法において、基体表面は周縁溝により周辺部と前記周縁溝で囲まれた内側部に区画されていることを特徴とする固相シートの製造方法。

IPC (2件)：

H01L 21/208 ,  H01L 31/04

FI (2件)：

H01L 21/208 S ,  H01L 31/04 H

Fターム (13件)：

5F051AA03 ,  5F051CB04 ,  5F053AA01 ,  5F053AA03 ,  5F053BB04 ,  5F053BB43 ,  5F053BB48 ,  5F053BB52 ,  5F053DD01 ,  5F053FF01 ,  5F053HH04 ,  5F053HH05 ,  5F053LL05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-314327
  
• 特開平4-342409
  
• 特開平2-049420