絶対圧力検出センサおよびそのセンサを用いた容器の漏洩状態検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八田幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-089934
公開番号（公開出願番号）：特開平6-058834
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】測定に時間がかからずに、しかも高精度の測定を行なえる容器の漏洩状態検査装置を提供すること。【構成】漏洩状態を測定するに際して、タンク内には不活性ガスが所定の圧力で充填される。CPUはこのタンク内の圧力を半導体センサの検出値に基づいて検出し、さらにこの圧力をタンク内の上部または下部の温度を検出する上部あるいは下部温度センサの検出値に応じて補償する。CPUは、この補償後のタンク内圧力を一定時間毎にRAMに記憶させる。この記憶された測定データはCPUによって解析され、所定時間内の圧力変化が一定量以下であれば漏洩していないと判断する。

請求項（抜粋）：

一方が開放されたケーシング内に、外部から遮断されて一定圧力に保たれる第1室と当該外部に連通されて当該外部の圧力と同一圧力を呈する第2室とが形成されるように隔壁が配設され、当該隔壁は当該第1室の圧力と第2室の圧力との圧力差に応じて変形自在に構成され、当該隔壁には当該変形量に応じた電気信号を出力する圧力検出手段が設けられていることを特徴とする絶対圧力検出センサ。

IPC (2件)：

G01L 13/06 , G01M 3/32

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭61-176831
特開昭64-043738
特開昭62-022040

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審査官引用 (10件)

特開昭61-176831
特開昭61-176831
特開昭64-043738

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