特許

J-GLOBAL ID：200903078565945704

イオン検出装置

発明者： 山田 貴久
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-142234
公開番号（公開出願番号）：特開平5-314946
出願日： 1992年05月07日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】 CDと電子増倍器とを組み合わせたイオン検出器において、負のイオンを効率良く検出することができるイオン検出装置を提供する。【構成】 検出すべきイオンIの通路上にCD4を設けると共に、このCDに切換スイッチSを介して電源5aと電源5cを切換可能に接続する。また、CD4の法方線方向に入射面がアース電位の電子増倍器1を設ける。そして、正のイオンIを検出する場合には、CD4に高圧電源5aから例えば5KV程度の負の高電圧を印加して正のイオンをCDに衝突させることにより2次電子Eを放出させ、この2次電子をCDと電子増倍器間の電圧により加速して電子増倍器に入射させる。つぎに、負のイオンIを検出する場合には、CD4に電源5cから例えば500V程度の比較的低い負の電圧を印加して負のイオンをCD4に衝突させる。このようにCDに低い電位を印加すれば、負のイオン検出に際しても正のイオン検出の場合と同様に2次電子をCDから放出させて電子増倍器1に入射させることができる。

請求項（抜粋）：

コンバージョンダイノードを用いて負イオンを電子増倍手段により検出する装置において、前記コンバージョンダイノードへの負イオンの入射を妨げることなく、しかも負イオン衝突によりコンバージョンダイノードから発生する電子を前記電子増倍手段へ押出すことのできる負の電圧をこのコンバージョンダイノードに印加するための電源を設けたことを特徴とするイオン検出装置。

IPC (3件)：

H01J 43/02 ,  G01N 27/62 ,  H01J 43/04