酸化チタン膜

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-044779
公開番号（公開出願番号）：特開平9-235118
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】CVD膜又はPVD膜からなる、ルチル型構造を有する酸化チタン膜を提供する。【解決手段】結晶構造がルチル型の酸化物膜5の上に形成された、CVD膜又はPVD膜からなる酸化チタン膜6であって、酸化物膜5としては、導電性を有するものが好ましく、酸化錫又は酸化錫を主成分とするものが好ましい。

請求項（抜粋）：

結晶構造がルチル型の酸化物膜の上に形成された、CVD膜又はPVD膜からなる、酸化チタン膜。

IPC (5件)：

C01G 23/00 , C23C 14/08 , H01B 3/12 304 , H01G 4/33 , H01G 4/12 391

FI (5件)：

C01G 23/00 , C23C 14/08 E , H01B 3/12 304 , H01G 4/12 391 , H01G 4/06 102

前のページに戻る