特許
J-GLOBAL ID:200903078570004187

セラミックヒータ及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 祥泰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-342216
公開番号(公開出願番号):特開平11-157920
出願日: 1997年11月26日
公開日(公表日): 1999年06月15日
要約:
【要約】【課題】 マイグレーションが発生し難い,セラミックヒータ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 セラミックからなる基部と発熱抵抗体とよりなる。上記セラミックは,Al2 O3 ,SiO2 ,MgO及びCaOの合計量を100重量%とした場合に90〜96重量%のAl2 O3 ,1〜8重量%のSiO2 ,0.6〜1.5重量%のMgO及び1.3〜6.8重量%のCaOを含有し,CaO/MgOが4.5以下かつMgOとCaOの合計量が1.9重量%以上であり,Al2 O3 ,SiO2 ,MgO及びCaOの合計量100重量%に対し,0.2〜20.0重量%のZrO2 及び0.2〜20.0重量%のY2 O3 を含有する。
請求項(抜粋):
セラミックからなる基部と,該基部内に少なくとも発熱部が埋設された発熱抵抗体とよりなるセラミックヒータにおいて,上記セラミックは,Al2 O3 ,SiO2 ,MgO及びCaOの合計量を100重量%とした場合に,90〜96重量%のAl2 O3 ,1〜8重量%のSiO2 ,0.6〜1.5重量%のMgO及び1.3〜6.8重量%のCaOを含有し,更に,上記MgOと上記CaOの重量比(CaO/MgO)が4.5以下かつ上記MgOと上記CaOの合計量が1.9重量%以上であり,また,上記Al2 O3 ,SiO2 ,MgO及びCaOの合計量100重量%に対し,0.2〜20.0重量%のZrO2 及び0.2〜20.0重量%のY2 O3 を含有することを特徴とするセラミックヒータ。
IPC (3件):
C04B 35/10 ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/20 328
FI (3件):
C04B 35/10 Z ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/20 328

前のページに戻る