特許
J-GLOBAL ID：200903078570458331
半導体チップの外観検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-015660
公開番号（公開出願番号）：特開平5-218160
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 半導体チップの疑似欠陥を取り除き、欠陥の認識率を向上させる半導体チップの外観検査装置を提供することにある。【構成】 1枚のウエハをダイシングすることによって得られる複数の半導体チップの濃淡情報を順次一時的に記憶する第1画像メモリと、上記第1画像メモリの濃淡情報と比較判定を行なうための基準の濃淡情報を記憶する第2画像メモリと、上記第1画像メモリと第2画像メモリの濃淡情報を比較し良品の半導体チップを検出する良品検出部と、上記良品検出部が良品と判断したときに上記第1画像メモリと第2画像メモリの濃淡情報の演算を行い、該演算結果で第2画像メモリの濃淡情報を書き替え、新らたな基準の濃淡情報となるようにする画像平均化処理部を具備してなることを特徴とする半導体チップの外観検査装置。
請求項（抜粋）：
1枚のウエハをダイシングすることによって得られる半導体チップを連続して検査する半導体チップの外観検査装置において、半導体チップの濃淡情報を一時的に記憶する第1画像メモリと、上記第1画像メモリの濃淡情報と比較判定を行なうための基準の濃淡情報を記憶する第2画像メモリと、上記第1画像メモリと第2画像メモリとの濃淡情報を比較し良品の半導体チップを判断する良品チップ判断部と、上記良品チップ判断部が良品と判断したときに上記第1画像メモリと第2画像メモリとの濃淡情報の演算を行い、上記演算の結果で第2画像メモリの濃淡情報を書き替える画像平均化処理部とを具備してなることを特徴とする半導体チップの外観検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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