特許
J-GLOBAL ID：200903078589294100
洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-255577
公開番号（公開出願番号）：特開平11-090364
出願日： 1997年09月19日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】 洗浄槽内に配置された、液晶表示装置などに用いられる大型のガラス基板などの被洗浄物を、効率的に洗浄することができる洗浄装置を提供する。【解決手段】 洗浄装置1は、略直方体形状の洗浄槽3の第1の側面に形成される2つの流入口4a・4bを有する第1流入部4と、上記第1の側面に対向する第2の側面に形成される流入口5a・5bを有する第2流入部5と、上記各流入部4・5から流入する洗浄液を排出する流出口6a・6bとを備えている。上記各流出口から流入する洗浄液は、洗浄槽3内において、複雑かつ勢いの強い流れを形成し、被洗浄物上の汚れをムラなく均一かつ効率的に除去するとともに、洗浄槽3内において、洗浄液の澱みの発生を防止する。排出された洗浄液は、循環部2により濾過され、配管7から洗浄槽3へと再流入する。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を収納する領域を有する略直方体形状の洗浄槽と、上記洗浄槽の第1の側面に形成され、該洗浄槽に流体を流入する第1流入部と、上記第1の側面に対向する面である第2の側面に形成され、該洗浄槽に流体を流入する第2流入部と、上記第1流入部と第2流入部とから流入する流体を排出する流出口とを備えているとともに、上記第1流入部または/および第2流入部は、洗浄槽底面からの高さが互いに異なる複数の流入口を有していることを特徴とする洗浄装置。
IPC (2件)：
B08B 3/10
, H01L 21/304 341
B08B 3/10 Z
, H01L 21/304 341 T
