特許
J-GLOBAL ID：200903078592401643
露光レンズとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-340272
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184977
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 露光作業時、光源から放射された紫外線を受けて変色するような黄変現象を防止することにより、露光レンズの寿命が短かくなることを極力防止できるようにする。【解決手段】 300nm以下の波長を有する紫外線により変色する露光レンズ31において、300nm以下の波長を有する紫外線の透過を抑制する手段33を備える。
請求項（抜粋）：
300nm以下の波長を有する紫外線により変色する露光レンズにおいて、300nm以下の波長を有する紫外線の透過を抑制する手段を備えることを特徴とする露光レンズ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 13/00
, H01J 9/227 B
