特許
J-GLOBAL ID：200903078592569005
ウエハ搬送方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-072268
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235146
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 発塵がなく高精度な位置決めができるウエハ搬送方法を提供する。【構成】 ウエハキャリア2から取り出したウエハ1をステージ4上に搭載して、次いでCCDカメラ6aにてウエハ1の画像を取り込み、この取り込んだ画像からウエハ1の回転方向と面方向の位置検出を行い、その後この位置検出の結果に基づいてウエハ搬送機5をウエハ1の位置に移動する。また、回転方向の位置検出結果に基づいてステージ4を回転させることにより、ウエハ1の回転方向の位置決めを行ってもよい。
請求項（抜粋）：
ウエハキャリアから取り出したウエハをウエハ搬送機を用いて次の装置に受け渡すウエハ搬送方法において、先ず、前記ウエハキャリアから取り出したウエハをステージ上に搭載し、前記ウエハの画像を光学読み取り装置にて取り込み、前記画像から前記ウエハの回転方向と面方向の位置検出を行ったのち、前記位置検出の結果に基づいて前記ウエハ搬送機を前記ウエハの位置に移動することを特徴とするウエハ搬送方法。
IPC (2件)：
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