特許
J-GLOBAL ID：200903078597197408
ミラ-装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-257557
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066998
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】ミラ-に許容値以上の変形を与えることを防ぎ、ミラ-の反射面を高精度に湾曲させる。【構成】ミラ-1と荷重発生部8a,8bとの間をピストン19を挾んで上下に設けた2個の圧縮バネ20,21を有する荷重作動部9a,9bで連結し、圧縮バネ20,21を介してミラ-1に荷重を加える。一方の荷重発生部8aからミラ-1の荷重点に加えられた荷重による他方の荷重発生部8bに対する影響をピストン19を挾んで上下に設けた同じバネ定数の圧縮バネ20,21で吸収し、安定してミラ-1の反射面を湾曲させる。ミラ-1に荷重を加えるときに、ミラ-1の実際の変位量や荷重を測定し、荷重発生部の出力をフィ-ドバック制御し、ミラ-1の反射面を正確に湾曲させる。
請求項（抜粋）：
荷重発生部からミラ-の長手方向の複数個所に荷重を加えて反射面に湾曲を与え、ビ-ムラインからの放射光を反射して実験試料に集光するミラ-装置において、バネ定数の等しい圧縮バネをシリンダ内のピストンの上下に配置した荷重作動部によりミラ-と荷重発生部との間を連結したことを特徴とするミラ-装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
