特許

J-GLOBAL ID：200903078599327430

非線形光学ガラス薄膜の製造方法

発明者： 近藤 裕己 ,  杉本 直樹 ,  真鍋 恒夫
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-017964
公開番号（公開出願番号）：特開平6-208148
出願日： 1993年01月08日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：

【要約】【構成】Cuまたはその化合物、Clまたはその化合物及びマトリックスガラスをスパッタリングし、基板表面にCuCl微粒子分散ガラス薄膜を形成するにあたり、スパッタリングするチャンバー内の圧力を0.001〜40Paの範囲で変化させ、CuCl微粒子の粒径を制御し非線形光学ガラス薄膜を製造する。【効果】CuCl微粒子の粒径の制御が容易である。

請求項（抜粋）：

Cuまたはその化合物、Clまたはその化合物及びマトリックスガラスをスパッタリングし、基板表面にCuCl微粒子分散ガラス薄膜を形成するにあたり、スパッタリングするチャンバー内の圧力を0.001〜40Paの範囲で変化させ、CuCl微粒子の粒径を制御することを特徴とする非線形光学ガラス薄膜の製造方法。

IPC (5件)：

G02F 1/35 505 ,  C03C 17/22 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/54

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-127802
  
• 特開平4-331501
  
• 特開平2-305101