特許
J-GLOBAL ID：200903078600933919
静電吸着力除去方法および静電吸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-235956
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074920
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】簡単な回路構成で残留吸着力をすみやかに低減する。【構成】電極に電圧を印加し絶縁膜を介して試料を電極に静電吸着させた後、静電吸着力を解除する際に、電圧の印加を中止し、試料と電極とを電気的に接続する。
請求項（抜粋）：
前記電極に電圧を印加し絶縁膜を介して試料を前記電極に静電吸着させた後、静電吸着力を解除する際に、前記電圧の印加を中止し、前記試料と前記電極とを電気的に接続することを特徴とする静電吸着力除去方法。
引用特許：
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