特許
J-GLOBAL ID：200903078609489833
微小な測定対象物を高速に分析できる分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-280720
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118738
出願日： 1997年10月14日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 専門の知識を有するオペレータの介入を必要とせずに、元素分析などの分析結果を自動的に分かりやすく出力できるようにする。【解決手段】 試料11を載置して位置決めする試料ステージ21と、試料11上の位置決めされた位置に電子ビームを照射する電子銃31と、電子ビームが照射された位置から発生する特性X線を検出するX線検出器43とを有し、特性X線のエネルギーを解析することにより試料11上の元素物質を分析する分析装置において、試料11上に存在が予想される元素に関するデータが予め登録される外部記憶装置54と、外部記憶装置54に登録されている元素の範囲内で、X線検出器43から出力される検出データの解析を行って分析結果を得る制御処理部53とを設ける。
請求項（抜粋）：
試料を載置して位置決めする試料ステージと、前記試料上の位置決めされた位置に第1のエネルギー線を照射するエネルギー線照射手段と、前記試料において前記第1のエネルギー線が照射された位置から発生する第2のエネルギー線を検出するエネルギー線検出手段と、前記試料ステージ、前記エネルギー線照射手段及び前記エネルギー線検出手段が収容取り付けられた共通真空容器とを有し、前記第2のエネルギー線のエネルギーを解析することにより前記試料上の物質を分析する分析装置において、前記試料上に存在が予想される物質に関するデータが予め登録される外部記憶手段と、前記外部記憶手段に登録されている物質の範囲内で、前記エネルギー線検出手段から出力される検出データの解析を行って分析結果を得る処理手段と、を有することを特徴とする分析装置。
IPC (4件)：
G01N 23/225
, G01N 23/20
, H01J 37/252
, H01L 21/66
G01N 23/225
, G01N 23/20
, H01J 37/252 A
, H01L 21/66 J
