特許
J-GLOBAL ID：200903078610487984
スタンパーの検査方法及び検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-174385
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029216
出願日： 1993年07月14日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、スタンパー内の欠陥を正確かつ容易に発見することができるスタンパーの検査方法及び検査装置を提供する。【構成】 端面が平行に保持された2つの電極間に導電性物質からなるスタンパーを挟み、該スタンパーの目的地点の静電容量を判定し、そのスタンパー厚と膜厚測定器により得られた前記目的地点のスタンパー厚とを比較することによりスタンパー内の欠陥の位置及び大きさを検査することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
端面を平行に保持された2つの電極間に導電性物質からなるスタンパーを挟むことにより、該スタンパーの任意地点の静電容量を測定し、それを元にスタンパー厚を算出し、該スタンパー厚と膜厚測定器により得られた前記任意地点と同一地点のスタンパー厚とを比較することによりスタンパー内部の欠陥の位置及び大きさを検査することを特徴とするスタンパーの検査方法。
IPC (3件)：
G11B 7/26
, B29C 33/42
, B29D 17/00
