特許
J-GLOBAL ID：200903078612279246
CCDカメラを具備したIC試験装置におけるCCDカメラ基準位置調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-104707
公開番号（公開出願番号）：特開平5-297060
出願日： 1992年04月23日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 キャリブレーション治具およびキャリブレーション用動作プログラムを使用するIC試験装置におけるCCDカメラ基準位置調整方法を提供する。【構成】 実際のICコンタクト・チャックのリード高さと同一の高さに調整されたバッファ・ステージL上の調整用チャック30と、ICソケットをティーチングする際の接触子の高さに高さを調整された調整用治具40と、円形治具53と、中心位置に円形治具53と厳しい嵌合寸法の座グリ穴54が形成されているキャリブレーション用コンタクト・チャック52とにより構成されるキャリブレーション治具およびキャリブレーション用動作プログラムを使用する、CCDカメラ12を具備したIC試験装置におけるCCDカメラ基準位置調整方法。
請求項（抜粋）：
コンタクト・チャックを正確に位置決めするガイド・ピンとコンタクト・チャックを取り付ける取付面とを有するコンタクト・ヘッドおよびCCDカメラがX-Y搬送装置のX-Yアームに装着されているIC試験装置において、実際のICのリード高さと同一の高さに調整されたバッファ・ステージ上の調整用チャックと、ICソケットをティーチングする際の接触子の高さに高さを調整した調整用治具と、円形治具と、中心位置に円形治具と厳しい嵌合寸法の座グリ穴が形成されているキャリブレーション用コンタクト・チャックとにより構成されるキャリブレーション治具およびキャリブレーション用動作プログラムを使用して、バッファ・ステージ上のIC吸着高さにおけるCCDカメラとIC吸着中心の相対関係を測定し、コンタクト高さにおけるCCDカメラとIC吸着中心の相対関係を測定し、次いでそれぞれの高さにおけるキャリブレーションを実施することを特徴とするCCDカメラを具備したIC試験装置におけるCCDカメラ基準位置調整方法。
IPC (2件)：
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