特許
J-GLOBAL ID：200903078620412850
繰り返しパターン検出データの削除方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-229437
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047887
出願日： 1991年08月15日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】 パターン付きウエハの異物検査において、各チップの同一パターンの同一位置の検出データを、パターンの位置ズレの有無に拘らず削除する方法を提供する。【構成】 検出データが検出された検出セルと、検出セルの周囲に隣接した8個の隣接セルにそれぞれ対応したRAMのアドレスに、検出データを表示する“1"を記憶し、各チップについてこの“1" を加算する。加算によりえられる“n"の分布により、検出データがn回の繰り返しパターンによるものと判定して削除し、異物のみの検出データがえられる。【効果】 各パターンの位置ズレの有無に拘らず、繰り返しパターンの検出データが確実に削除されて、検出データの信頼性と異物の検出性能が向上する。
請求項（抜粋）：
同一のパターンを有する複数のチップが配列されたウエハを対象とし、該各チップをマトリックス状に微小な方形の単位セルに区分し、前記各チップにレーザビームを連続して走査し、該単位セル内の散乱光を受光して検出された検出データを、該単位セルに対応するRAMのアドレスに記憶してマップ表示するパターン付きウエハの異物検査において、前記検出データが検出された単位セル、および該検出単位セルの周囲に隣接する8個の単位セルにそれぞれ対応した前記RAMのアドレスに前記検出データを表示する“1”を記憶し、前記各チップについて該“1" を加算し、該加算によりえられる前記各アドレスの記憶データ“n" の分布により、前記検出データを各チップの同一パターンのn回の繰り返しによるものと判定して削除することを特徴とする、繰り返しパターン検出データの削除方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
