ガラス基板の表裏欠陥識別方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶山佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087050
公開番号（公開出願番号）：特開平9-258197
出願日： 1996年03月18日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】ガラス基板の欠陥を検出し、これが表面と裏面のいずれに存在するかを識別する。【解決手段】ガラス基板1に対してほぼ45°の入射角でレーザビームLT を投射して、表面に光スポットSP を、また表面で屈折したレーザビームLT により、裏面に光スポットSP'をそれぞれ形成し、これらが一定間隔をなすので、光表面の欠陥KH の散乱光SH と、裏面の欠陥KR の散乱光SR とを、CCDセンサの特定の2素子eH,eR にそれぞれ結像して、2素子の欠陥信号DH,DR の有無により、欠陥KH と欠陥KR とを識別する。

請求項（抜粋）：

液晶パネル用のガラス基板の、TFTを形成する表面に存在する欠陥KH と、裏面に存在する欠陥KR を識別対象とし、投光系により該ガラス基板に対してほぼ45°の入射角でレーザビームLT を投射して、該表面に光スポットSP を形成し、該表面で屈折した該レーザビームLT により、該裏面に光スポットSP'を形成し、該投光系と対称的に、ほぼ45°の受光角に設けた受光系の空間フィルタにより、該両光スポットSP,SP'の、該表面と裏面による正反射光LH,LR を遮断し、該光スポットSP の位置にある欠陥KH の散乱光SH と、該光スポットSP'の位置にある欠陥KR の散乱光SR を、結像レンズにより、CCDイメージセンサの、該両光スポットSP,SP'に対応する2個の特定の素子eH,eR に結像し、該両素子eH,eR がそれぞれ出力する欠陥信号DH,DR の有無を、それぞれ"1" 、 "0" として、下記の各識別条件: (DH : "1" ,DR : "0" );KH .........条件(1) (DH : "1" ,DR : "1" );KH .........条件(2) (DH : "0" ,DR : "1" );KR .........条件(3)により、前記ガラス基板の表面の欠陥KH と裏面の欠陥KR とを識別することを特徴とする、ガラス基板の表裏欠陥識別方法。

IPC (2件)：

G02F 1/1333 500 , G01N 21/88

FI (3件)：

G02F 1/1333 500 , G01N 21/88 D , G01N 21/88 F

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭52-014477
特開平3-276005
光学的内部検査援助装置及びその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-024852 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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