レジスト樹脂用モノマーおよびそれを重合単位として含むレジスト用樹脂

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：吉武賢次 , 中村行孝 , 紺野昭男 , 横田修孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-163529
公開番号（公開出願番号）：特開2004-285077
出願日： 2004年06月01日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】短波長光に対する透明性が優れるとともに高いドライエッチング耐性を備え、かつアルカリ現像で解像性の良好で密着性の高いレジストパターンを形成することができる感光性組成物に用いることができるレジスト用樹脂とそれを製造するためのモノマーの提供。【解決手段】アダマンタン環の少なくとも1つの環状炭素が-(C=O)-O-に変換された骨格を構造を含み、かつ重合反応時に結合部位として作用する基であるヒドロキシル基およびカルボキシル基からなる群から選ばれる基を少なくとも1種類を2個以上有することを特徴とするモノマー化合物とそれを用いて製造した樹脂。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

アダマンタン環の少なくとも1つの環状炭素が-(C=O)-O-に変換された骨格を構造中に含む、アクリル酸エステル化合物、およびメタクリル酸エステル化合物からなる群から選ばれることを特徴とするモノマー化合物。

IPC (4件)：

C07D311/00 , C07D313/06 , C08F20/28 , H01L21/027

FI (4件)：

C07D311/00 , C07D313/06 , C08F20/28 , H01L21/30 502R

Fターム (23件)：

2H025AA04 , 2H025AA09 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4C062JJ12 , 4C062KK03 , 4J100AL08 , 4J100BA11 , 4J100BC09 , 4J100BC53 , 4J100CA01 , 4J100CA03 , 4J100DA00 , 4J100DA01 , 4J100DA39 , 4J100JA38

引用文献：

審査官引用 (1件)

J. Org. Chem., 46(26), pp.5332-5336 (1981)

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