特許

J-GLOBAL ID：200903078634593262

ガスセンサの製造方法

発明者： 山口 隆司
出願人/特許権者： フイガロ技研株式会社
代理人 (1件)： 塩入 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-192518
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087763
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【目的】 ガス検出膜を微細化し、低消費電力のガスセンサを得る。【構成】 レジストを現像して得たパターンに感ガスペーストを印刷し、パターンをラッピングしてパターン以外の部分のペーストを除くと共に、ペーストの厚さを揃え、焼成する。

請求項（抜粋）：

基板上にフォトレジストを塗布現像して、感ガスパターンを形成する工程と、感ガスパターンに感ガス材料のペーストを塗布し、パターンを充填する工程と、充填した感ガスペーストをラッピングし、パターン以外の部分の感ガスペーストを除去すると共に、パターン部での感ガスペーストの厚さをフォトレジストの厚さを基準に揃える工程と、感ガスペーストを焼成し感ガス膜を形成すると共に、フォトレジストを除去する工程とを設けた、ガスセンサの製造方法。