特許

J-GLOBAL ID：200903078640255611

磁気軸受装置

発明者： 野村 慎一 ,  小槫 利春
出願人/特許権者： セイコー精機株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-160358
公開番号（公開出願番号）：特開平8-028562
出願日： 1994年07月12日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】 回転体の回転周波数の1次成分以外の変位も抑制することができる磁気軸受装置を提供する。【構成】 制御回路11〜15a、15bが、径方向変位センサ5a、5bの出力に応じて、電磁石3a、3bの励磁電流をフィードバック制御することで、ロータ1は所定位置に磁気浮上される。CPU21は、位置検出回路11からのセンサ信号S1を基に回転時のロータ1の変位を解析する。そして、解析の結果得られる補正信号S2を演算器12に供給することで、ロータ1の振動を各周波数成分毎に打ち消す磁力を電磁石3a、3bに発生させる。これにより、ロータ1の変位が抑制される。

請求項（抜粋）：

回転体を磁気浮上させる電磁石と、前記回転体の変位を検出する変位検出手段と、前記回転体を安定に軸支するため、前記変位検出手段の信号を補償する補償回路と、この補償回路で補償された信号に基づいて前記電磁石の励磁電流を制御することで、前記回転体の浮上位置を制御する制御手段とを備えた磁気軸受装置において、前記回転体の回転角度位置を検出する回転角度位置検出手段と、前記回転体の回転速度を検出する回転速度検出手段と、この回転速度検出手段の検出信号を受信すると共に、前記変位検出手段の検出信号を前記回転角度位置検出手段の検出信号に同期して受信し周波数分析することで、回転角度位置毎の回転体の変位を回転周波数とその高調波成分の振幅及び位相データに変換する周波数分析手段と、前記変位検出手段の検出信号が入力される前記補償回路の位置補正入力点から前記変位検出手段の前記検出信号が出力される変位検出点に至るフィードバックループの閉ループ伝達関数を測定する伝達関数測定手段と、この伝達関数測定手段で測定された伝達関数から逆伝達関数を演算する逆伝達関数演算手段と、前記周波数分析手段で得られた振幅及び位相データと、前記逆伝達関数演算手段で演算された逆伝達関数より得たゲイン及び位相データとから、前記回転体の変位を抑制するための補正信号を演算生成する補正信号生成手段と、この補正信号生成手段で生成された補正信号を前記回転角度位置検出手段の検出信号に同期して前記位置補正入力点に供給する補正信号供給手段とを具備することを特徴とする磁気軸受装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 磁気軸受装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-091724   出願人：株式会社荏原製作所
• 特開平3-139141