特許
J-GLOBAL ID：200903078645994609
連成オシレータ走査イメージャー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-245003
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089911
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 先端の振動状態の変化の測定に光学的、機械的な整合を要することなく、振動状態の変更を急速、かつ正確にして高精度に実施する。【解決手段】 走査顕微鏡、特に近視野走査のための光学的、摩擦力及び原子力顕微鏡検査、圧電素子振動子に取着された先端片を備えている。この振動子は、他の振動子と組み合わされ、連成オシレータ装置を構成している。連成オシレータ装置は水晶圧電素子音叉である。使用に際して、先端片はサンプルとの関係によって振動させられる。先端-サンプル相互作用は、圧電素子を歪ませる。そして、圧電素子の歪みは、歪み誘導圧電電位に反応する圧電素子に配置された接点を介して計測することができる。連成オシレータ装置は数千以上の大きなQを許容する。顕微鏡は、単に電気信号簡単に簡単に操作される。プローブヘッドは、真空中、極低温、あるいは高磁界において操作することができる。
請求項（抜粋）：
試料(S)と相互作用を行うための先端部(10)と、前記先端部(10)を試料(S)に対して接近及び離間するように第1の方向(y)へ相対移動させるための第1の移動手段と、前記先端部(10)を、試料(S)に対してこれを横切るように第1の方向(y)とほぼ直交する面(x,z)において相対移動させるための第2の移動手段 と、前記先端部(10)に対して周波数、強度及び相を備えた振動を付与して、同先端部(10)を試料(10)に対して振動させるディザ手段(50)と、圧電材料の第1の部分よりなり、かつ前記先端部(10)に連結された第1の振動手段(30)と、同第1の振動手段(30)に連結された第2の振動手段(31)とを有する連成オシレータ装置(5)と、前記連成オシレータ装置(5)から出力される試料(S)との相互作用に応答した電気信号が入力されるための入力手段(40,41;40,41,43)とからなる走査プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
, H03B 5/32
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
, H03B 5/32 J
