特許
J-GLOBAL ID：200903078646404996
マイクロ蛍光X線分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-149280
公開番号（公開出願番号）：特開平9-329557
出願日： 1996年06月11日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 微小領域から発生する蛍光X線に偏りと拡がりがあっても十分な検出強度が得られるようにしたマイクロ蛍光X線分析装置を提供する。【解決手段】 蛍光X線を測定する検出器の形状を薄型、かつ、中空円筒型とし、一次X線を細束化するX線導管の試料部側端部付近に軸方向に垂直に外嵌させる構造とした。
請求項（抜粋）：
試料の微小領域に細束高輝度X線を照射するためのX線導管と、試料の微小領域から発生する蛍光X線を測定するエネルギー分散型半導体検出器を有し、その形状が中空平板型となっていることを特徴とするマイクロ蛍光X線分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 23/223
, G21K 1/02 Z
