特許
J-GLOBAL ID：200903078652764813
光学式検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-347413
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204508
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 物体からの光を受光することによって物体に関する検出を行なう光学検出装置において、発光素子、または受光素子の気密性を高めるとともに、分離、合波等を行う為の素子との高精度な位置合わせを伴う製作が容易になり、かつその位置関係を高精度に維持可能にする。【構成】 発光素子からの光束を光学素子によって分離して少なくとも2光束を形成し、被測定回折格子に入射させ、発生した少なくとも二つの回折光を合波素子によって合波干渉させて受光素子で受光することにより、前記被測定回折格子の相対変位情報を検出する装置構成において、前記受光素子を気密封止する透光性樹脂表面に、前記光学素子と合波素子の少なくとも一方を直接または積層して形成している。
請求項（抜粋）：
対象物体からの2光束を合波素子によって合波して受光素子で受光することにより前記対象物体に関する検出を行う検出装置において、該受光素子を気密封止する透光性樹脂表面に、前記合波素子を直接または積層して形成したことを特徴とする光学式検出装置。
IPC (3件)：
H01L 31/0232
, G01D 5/36
, G01D 5/38
