特許
J-GLOBAL ID：200903078653031968

ワーク搬送装置及びダイシング装置

発明者：
小林 一彦

小林 一彦 について

, 
安藤 修治

安藤 修治 について

, 
小口 達司

小口 達司 について


出願人/特許権者：
アピックヤマダ株式会社

アピックヤマダ株式会社 について


代理人 (1件)： 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-359497
公開番号（公開出願番号）：特開2003-163180
出願日： 2001年11月26日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：
【要約】【課題】 ダイシングされたワークを一括して吸着保持し、吸着保持したまま洗浄を行って後工程へ搬送可能なワーク搬送装置を提供する。【解決手段】 ダイシング治具5に吸着されたまま個片にダイシングされ、一方の面を洗浄されたワーク2を、一括して吸着保持したまま搬送する吸着ヘッド14と、吸着ヘッド14によりワーク2が吸着保持されたまま他方の面の洗浄が行われるワーク洗浄手段24と、洗浄後のワーク2を一括して受け渡すバッファ部44とを備えた。
請求項（抜粋）：
ダイシングされたワークを、洗浄工程を経て後処理工程へ搬送するワーク搬送装置において、ダイシング治具に吸着されたまま個片にダイシングされ、一方の面が洗浄されたワークを、一括して吸着保持したまま搬送する吸着搬送手段と、前記吸着搬送手段によりワークが吸着保持されたまま他方の面の洗浄が行われるワーク洗浄手段と、洗浄後のワークを一括して受け渡すバッファ部とを備えたことを特徴とするワーク搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/301 ,  B08B 3/02 ,  B25J 15/06
FI (4件)：
B08B 3/02 C ,  B25J 15/06 M ,  H01L 21/78 N ,  H01L 21/78 P
Fターム (15件)：
3B201AA46 ,  3B201AB23 ,  3B201BB02 ,  3B201BB22 ,  3B201BB42 ,  3B201BB92 ,  3B201CC12 ,  3B201CD35 ,  3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007DS02 ,  3C007FS01 ,  3C007FT07 ,  3C007FT13 ,  3C007FU02
引用特許：
審査官引用 (7件)
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