特許

J-GLOBAL ID：200903078655103680

磁気ディスク基板の浮上保持方法およびそれに用いる磁気ディスク基板搬送用保持具

発明者： 永井 清郷 ,  吉田 実 ,  和田 俊郎
出願人/特許権者： 株式会社アルテクノ
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-265880
公開番号（公開出願番号）：特開2001-088077
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】【課題】 平板研磨機の砥石上に密着した磁気ディスク基板を容易に分離して洗浄等の次工程に搬送することを可能にさせる、磁気ディスク基板の浮上保持方法およびそれに用いる磁気ディスク基板搬送用保持具を提供する。【解決手段】 平板研磨砥石3上に密着する磁気ディスク基板2を浮上させて保持する方法であって、エアーを磁気ディスク基板2と平板研磨砥石3との境界部分4に吹き付けることによって磁気ディスク基板2を浮上させる工程と、浮上した磁気ディスク基板2を磁気ディスク基板搬送用保持具1によって保持する工程とし、さらに、そうした保持具1が、磁気ディスク基板2と平板研磨砥石3との境界部分4にエアーを吹き付ける吹き出し口5を有することによって、上記課題を解決する。

請求項（抜粋）：

平板研磨砥石上に密着した磁気ディスク基板を浮上させて保持する方法であって、エアーを前記磁気ディスク基板と平板研磨砥石との境界部分に吹き付けることによって当該磁気ディスク基板を浮上させる工程と、浮上した前記磁気ディスク基板を磁気ディスク基板搬送用保持具によって保持する工程と、からなることを特徴とする磁気ディスク基板の浮上保持方法。

IPC (6件)：

B25J 15/06 ,  B24B 55/06 ,  B25J 15/08 ,  B65H 3/08 ,  B65H 5/22 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

B25J 15/06 Z ,  B24B 55/06 ,  B25J 15/08 M ,  B65H 3/08 ,  B65H 5/22 ,  H01L 21/68 A

Fターム (22件)：

3C007DS01 ,  3C007ES13 ,  3C007ET10 ,  3C007EV14 ,  3C007FS04 ,  3C007NS09 ,  3C047HH00 ,  3F049AA07 ,  3F049LA16 ,  3F049LB07 ,  3F061AA01 ,  3F061BA13 ,  3F061BB10 ,  3F061BE24 ,  3F061CA04 ,  3F061DB04 ,  3F343FA13 ,  3F343FB19 ,  3F343JD28 ,  5F031CA01 ,  5F031GA28 ,  5F031MA22