光学位置測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江崎光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-318710
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155010
出願日： 1999年11月09日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】走査間隔が大きい場合でも、また散乱光が入射しても、従来の技術と比べて基準パルス信号を確実に発生させることのできる光学位置測定装置を提供する。【解決手段】光源から放出されたビーム束の発散が大きい光学位置測定装置は目盛板Mと走査板Aの側の比較的細かい基準マーク構造体10,20を比較的粗くパターン構造化した検出素子D1〜D3と関連させて使用する。基準位置で発生する信号RITとRIGTは更に演算処理する基準パルス信号RIz を発生させるため、最後に差動増幅器DIFの両方の入力端に導入される。この増幅器内では結局両方の入力信号RITとRIGTが互いに引算されるか、両方の信号から差が形成される。差動増幅器DIFの出力端には望む基準パルス信号RIz が生じ、この信号は更に演算処理するため評価ユニットに伝送される。

請求項（抜粋）：

少なくとも一つの特定な相対位置(xREF )で基準パルス信号(RIz )を発生し、測定方向(x)に相対運動する二つの物体の相対位置を測定する光学位置測定装置において、下記の構成要素、a)測定方向(x)に順次配置された光学特性の異なる多数の部分領域(10d,10u;100d,100u;400r,400n )を有するn(n= 2, 3, 4...)個のブロック(BM1,BM2,BM3;BM100,BM200,BM300,BM400)を測定方向に配置された目盛板・基準マーク構造体(10;100;400)を有している一方の物体に接続された目盛板(M),b)走査・基準マーク構造体(20;200;300)と多数の検出素子(D1,D2,D3;D100,D200,D300,D400)を備えた走査板(A)とを有している他方の物体に接続された走査ユニット(AE),を備え、その場合、b1) 走査・基準マーク構造体(20;200;300)も測定方向(x)に順次配置されたn個のブロック(BA1,BA2,BA3;BA100,BA200,BA300,BA400)から成り、b2) 前記走査・基準マーク構造体あるいは前記目盛板・基準マーク構造体の少なくとも一つの第一グループのブロック(BA1,BA3;BA100,BA300;BM1,BM3;BM100,BM300)が基準位置(xREF )のところのその時の他方の基準マーク構造体の面で走査・基準マーク構造体(20;200;300)あるいは目盛板・基準マーク構造体(10;100;400)の付属する第一グループのブロック(BA1,BA3;BA100,BA300,BA400;BM1,BM3;BM100,BM300)の構造と同一の強度分布を供給し、前記走査・基準マーク構造体あるいは前記目盛板・基準マーク構造体の少なくとも一つの第二グループのブロック(BA2;BA200,BA400;BM2;BM200,BA400)がその時の他方の基準マーク構造体の面で前記走査・基準マーク構造体あるいは前記目盛板・基準マーク構造体の付属するブロック(BA2;BA200,BA400;BM2;BM200,BA400)の構造に対して相補的となる強度分布を供給するように、走査・基準マーク構造体あるいは目盛板・基準マーク構造体の前記第一グループのブロック(BA1,BA3;BA100,BA300;BM1,BM2,BM3;BM100,BM300)を形成し、b3) 走査・基準マーク構造体(20;200;400)のブロック(BA1〜BA3;BA100〜BA400)の各々に一つの検出素子(D1 〜D3;D1 00〜D400)が付属し、b4) ブロックのグループの出力信号(RIT,RIGT)を互いに接続して、各ブロックのグループのこれ等の出力信号から両方の物体の特定な相対位置(xREF )で最大値あるいは最小値となるそれぞれ一つの基準パルス出力信号(RIT,RIGT)が生じるように、前記検出素子(D1〜D3;D100〜D400)が結線されている、を備えていることを特徴とする光学位置測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G01D 5/245 102 , G01D 5/36

FI (4件)：

G01B 11/00 A , G01D 5/245 102 U , G01D 5/36 B , G01D 5/36 X

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭60-088317
特開昭62-036923
特開昭63-281015

審査官引用 (2件)

特開昭60-088317
特開昭62-036923

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