特許

J-GLOBAL ID：200903078663103045

グリーンシートおよびその製造方法、並びに積層圧電体、圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド

発明者： 高橋 大輔 ,  前田 哲也
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
代理人 (1件)： 深井 敏和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-189032
公開番号（公開出願番号）：特開2005-022909
出願日： 2003年06月30日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】圧電アクチュエータ等の材料として用いた場合に、圧電特性ばらつきが小さくかつ高い圧電特性が得られるグリーンシートおよびその製造方法、並びに積層圧電体、圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッドを提供することである。【解決手段】平均粒径が3μm未満の圧電性セラミックス原料粉末と、アクリル樹脂の水性エマルジョンと、アルキレングリコールとを混合して得られる1Pa・s以下の粘度を有するスラリーを調製し、このスラリーに含まれる3μm以上の粒子を除去した後、成形する。この方法により作製されるグリーンシートは、厚みが20μm以下、表面粗さRaが0.3μm以下であり、かつ表面が有機溶剤に対して不溶性ないし難溶性である。このグリーンシートは、積層圧電体、圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッドに好適である。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

圧電性セラミックス原料粉末を主成分とし、厚みが20μm以下、表面粗さRaが0.3μm以下であり、かつ表面が有機溶剤に対して不溶性ないし難溶性であることを特徴とするグリーンシート。

IPC (7件)：

C04B35/622 ,  B28B1/30 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/24

FI (8件)：

C04B35/00 D ,  B28B1/30 101 ,  H01L41/22 A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D ,  B41J3/04 103A

Fターム (23件)：

2C057AF21 ,  2C057AF34 ,  2C057AF54 ,  2C057AG12 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AG48 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4G030AA16 ,  4G030AA17 ,  4G030AA40 ,  4G030BA10 ,  4G030GA11 ,  4G030GA14 ,  4G030GA17 ,  4G030GA18 ,  4G030PA12 ,  4G030PA16 ,  4G052DA05 ,  4G052DA08 ,  4G052DB01 ,  4G052DC06