特許
J-GLOBAL ID：200903078664738176
研磨方法および研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-305698
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138425
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：
【要約】【課題】 ワークを歩留り良く高い精度で研磨し得る技術を提供する。【解決手段】 下側砥石12が設けられた下定盤11と、上側砥石14が設けられた上定盤13とを有し、ワークWを保持する複数のキャリア18は、太陽歯車15と内歯歯車16とに噛み合うようになっている。両方の砥石14,12による研磨が終了した後に、上下の定盤13,11を停止させる前に太陽歯車15を停止すると、ワークWの表面には引き目が形成される。一方、研磨が終了した後に、上下の定盤13,11と太陽歯車15とをほぼ同時に停止させると、ワークWの表面には引き目が形成されない。引き目を形成させる引き目付けモードと、引き目を形成させない引き目無しモードは、作業者によってそれぞれ選択することができる。引き目加工を行う場合には、その加工量を任意に設定することができる。
請求項（抜粋）：
下側研磨具を有する下定盤の上に配置され、かつ複数のワークが装填されるキャリアを有し、前記それぞれのキャリアに噛み合う太陽歯車と内歯歯車とを相対回転させた状態で、前記下側研磨具とこれに対向して上定盤に設けられた上側研磨具とを回転させることにより前記ワークの表面を研磨する研磨方法であって、前記ワークに対する研磨が終了後に前記太陽歯車と前記内歯歯車との相対回転を停止して前記ワークを固定し、前記ワークを固定した状態で前記下側研磨具と前記上側研磨具とにより前記ワークの両面に引き目を形成し、前記太陽歯車と前記内歯歯車との相対回転停止から前記下定盤と前記上定盤の回転を停止するまでの時間により引き目加工量を調整するようにしたことを特徴とする研磨方法。
引用特許：
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