特許

J-GLOBAL ID：200903078666484449

導電性セラミックス及びその用途

発明者： 安達 健一 ,  佐々木 欣夫 ,  今村 保男
出願人/特許権者： 電気化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-116874
公開番号（公開出願番号）：特開平7-315965
出願日： 1994年05月30日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：

【要約】【目的】 長寿命の金属蒸発用発熱体(ボート)及びその製作に好適な導電性セラミックスを提供すること。【構成】 窒化ほう素、二硼化チタン及び窒化アルミニウムを成分として含む導電性セラミックス焼結体表面に、窒化アルミニウムとイットリアを成分として含む被覆層が形成されてなることを特徴とする導電性セラミックス、及びキャビティを有する導電性セラミックスボートからなるものであって、このキャビティ部を上記の導電性セラミックスで構成されてなることを特徴とする金属蒸発用発熱体、並びにこの金属蒸発用発熱体の変形品。

請求項（抜粋）：

窒化ほう素、二硼化チタン及び窒化アルミニウムを成分として含む導電性セラミックス焼結体表面に、窒化アルミニウムとイットリアを成分として含む被覆層が形成されてなることを特徴とする導電性セラミックス。

IPC (5件)：

C04B 41/87 ,  C04B 35/583 ,  C04B 35/58 105 ,  C23C 14/24 ,  H05B 3/14