走査モード選択可能な共焦点顕微鏡システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本直己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-305520
公開番号（公開出願番号）：特開2004-138947
出願日： 2002年10月21日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】試料や測定条件に応じて測定時間又は測定精度のいずれを優先するかをユーザが選択できる共焦点顕微鏡システムを提供する。【解決手段】光学倍率によって決まる測定範囲内の試料表面からの光を共焦点光学系を介して受光素子で受光し、その受光情報に基づいて試料表面の高さ情報及び光量情報を取得し、取得した情報を処理して得られる試料表面の画像を表示装置の画面に表示する。測定範囲の光による試料表面の走査に関して、走査範囲が測定範囲の全体又は一部に切替可能であると共に、走査線の数が最大数又は縮小数に切替可能であり、走査範囲及び走査線の数の組合わせによって決まる複数の走査モードを備え、画面表示においてユーザが測定に際して複数の走査モードのうちの1つを選択できる【選択図】図7

請求項（抜粋）：

光学倍率によって決まる測定範囲内の試料表面からの光を共焦点光学系を介して受光素子で受光し、その受光情報に基づいて前記試料表面の高さ情報及び光量情報を取得し、取得した情報を処理して得られる前記試料表面の画像を表示装置の画面に表示する共焦点顕微鏡システムであって、前記測定範囲の光による試料表面の走査に関して、走査範囲が前記測定範囲の全体又は一部に切替可能であると共に、走査線の数が最大数又は縮小数に切替可能であり、前記走査範囲及び走査線の数の組合わせによって決まる複数の走査モードを備え、画面表示においてユーザが測定に際して前記複数の走査モードのうちの1つを選択できることを特徴とする共焦点顕微鏡システム。

IPC (2件)：

G02B21/36 , G02B26/10

FI (3件)：

G02B21/36 , G02B26/10 C , G02B26/10 104Z

Fターム (17件)：

2H045AB38 , 2H045AB62 , 2H045BA12 , 2H052AA08 , 2H052AC04 , 2H052AC05 , 2H052AC15 , 2H052AC33 , 2H052AD04 , 2H052AD06 , 2H052AD09 , 2H052AF02 , 2H052AF06 , 2H052AF14 , 2H052AF17 , 2H052AF23 , 2H052AF25

引用特許：

審査官引用 (10件)

光走査型顕微鏡及びその画像取得方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-204356 出願人：株式会社ニコン
走査型顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-314856 出願人：オリンパス光学工業株式会社
走査型顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-123946 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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