特許
J-GLOBAL ID：200903078684130492
固体撮像装置カラーフィルターの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-132194
公開番号（公開出願番号）：特開平5-323115
出願日： 1992年05月25日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 透明膜層の染色を防止した固体撮像装置カラーフィルターの形成方法を提供する。【構成】 形成された透明膜層2をタンニン酸に浸せきする。タンニン酸は水溶液中ではアニオン性にある。したがって、透明膜層2内に拡散したタンニン酸は染料アニオンを静電気的に反発することにより染料の接近を防ぐ。また、アニオン性のタンニン酸は透明膜材料のアミノ基などに代表される親水基とイオン結合を行なう。したがって、透明膜層2内の染料座席を封鎖する。次にタンニン酸に続いて吐酒石に浸漬する。この工程により吐酒石は透明膜層2内に拡散し、透明膜層2内のタンニン酸を固定化する。以上の反応により、透明膜層2の染色を防止する方法である。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に透明膜層を形成する工程と、前記透明膜層をタンニン酸と吐酒石とに浸漬する工程と、前記透明膜層の平面上にカラーフィルター層を形成する工程と、前記透明膜層平面上の前記カラーフィルター層の所定位置に紫外線光の照射を行う工程と、前記紫外線光照射により現像液に対し可溶性となった前記カラーフィルター層を除去してカラーフィルターパターンを形成する工程と前記カラーフィルターパターンを水可溶性染色液に浸漬する工程と、前記カラーフィルターと前記透明膜層との表面に付着した水可溶性染料を除去する工程とを備えたことを特徴とする固体撮像装置カラーフィルターの製造方法。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101
, H01L 27/14
, H04N 5/225
