特許
J-GLOBAL ID：200903078685159184
フォトマスク保護具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-055281
公開番号（公開出願番号）：特開平5-257267
出願日： 1992年03月13日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、フォトマスク表面への異物を付着を防止でき、光学検査機による保護膜表面の焦点合わせを正確に簡便にできるフォトマスク保護具を得ることを目的とする。【構成】 フォトマスク保護具2は、枠体3に焦点合わせ用マーク5が形成された保護膜4をはりつけて構成されている。このフォトマスク保護具2は、フォトマスク1の両面のそれぞれに接着剤により装着され、フォトマクス1を外部から保護し、異物の付着を防止している。光学検査機による保護膜4表面の焦点合わせは、保護膜4に形成された焦点合わせ用マーク5を用いて行うことができ、保護膜4上の異物や汚染状況を正確に検査できる。
請求項（抜粋）：
枠体と、前記枠体にはりつけられた保護膜とを備えたフォトマスク保護具において、前記保護膜に焦点合わせ用マークを設けたことを特徴とするフォトマスク保護具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 301 P
, H01L 21/30 311 N
