特許
J-GLOBAL ID：200903078691093349
光ビーム形状測定器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-190450
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043210
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】 高い精度を得る。【構成】 光導電体21の受光面22上に電極23,24が狭い間隔で配列され、被測定光ビーム11が受光面22に照射され、Xステージ25によりその照射点が電極23,24の配列方向に移動される。電極23,24間の抵抗値が測定部27により測定され、その抵抗値変化波形が光強度変化波形に強度変換部28で変換され、その光強度変化波形が電極形状補正部29で電極形状関数でデコンボリュージョンされ、その出力はガウシアンフィット演算部32によりガウス関数波形に近づけられ、その出力波形のピークの1/e2 レベルの幅が光ビーム径として表示部35に表示される。
請求項（抜粋）：
被測定光ビームの径よりも小さい間隔で受光面に形成された一対の電極を有する光導電体と、その光導電体の受光面に被測定光ビームを入射した状態で光導電体と被測定光ビームの入射点を、上記電極の配列方向に相対的に移動させる走査手段と、上記一対の電極間の抵抗値を測定する抵抗測定手段と、上記測定した抵抗値を光強度に変換する変換手段と、その変換された光強度の上記相対的移動にもとづく変化から上記被測定光ビームの径を求めて表示する手段と、を具備する光ビーム形状測定器。
IPC (2件)：
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