特許
J-GLOBAL ID：200903078691145454
探針形状測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-212585
公開番号（公開出願番号）：特開平6-058754
出願日： 1992年08月10日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：
【要約】【目的】 鋭く加工された探針先端の形状測定を、大気中でも簡便に行うこと。【構成】 先端形状を測定したい探針を、走査型プロ-ブ顕微鏡の探針として固体表面上の段差を走査して、得られた結果から探針の先端形状を求める。
請求項（抜粋）：
先端を鋭く加工された探針を、走査型プロ-ブ顕微鏡の探針として用いて、所定の精度で形成された固体表面上の段差を走査したときの走査型プロ-ブ顕微鏡のデータより探針先端の形状を測定することを特徴とする探針形状測定方法。
IPC (2件)：
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