特許
J-GLOBAL ID：200903078696005375
ワイヤソーの被加工物切断方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-141770
公開番号（公開出願番号）：特開平9-314550
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：
【要約】【課題】効率的に被加工物の切断を行うことができるワイヤソーの被加工物切断方法の提供。【解決手段】ワークフィードテーブル28に着脱自在なチルチングユニット30を用いてインゴット32の水平角度調整と垂直角度調整をあらかじめワイヤソー10の装置外で行ったのち、前記チルチングユニット30を介して前記インゴット32を前記ワークフィードテーブル28に取り付けてインゴット32の切断を行う。
請求項（抜粋）：
走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に対して垂直に進退移動するワークフィードテーブルに被加工物を取り付け、該ワークフィードテーブルを前記ワイヤ列に向けて送り出すことにより前記被加工物をワイヤ列に押し当て、前記被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーの被加工物切断方法において、前記ワイヤソーの装置外で、あらかじめ前記被加工物の水平角度調整及び垂直角度調整を行ったのち、前記被加工物を前記ワークフィードテーブルに取り付けて、前記被加工物の切断をすることを特徴とするワイヤソーの被加工物切断方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B28D 5/04 C
, B24B 27/06 D
