液晶セルの洗浄装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大原拓也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-331708
公開番号（公開出願番号）：特開2002-126662
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月08日
要約：

【要約】【課題】液晶セル同士の接触による割れや欠け、それに外圧によるギャップ変動などを起こさせることなく、液晶セルの表裏両面をきれいに、しかも効率よく洗浄する。【解決手段】液晶セル1を吸着固定し得る第1および第2搬送テーブル11,21を有し、第1搬送テーブル11上に液晶セル1を載置固定して、その一方の面を洗浄した後、移載手段40により液晶セル1の表裏を反転させて第2搬送テーブル21上に移し替えて液晶セル1の他方の面を洗浄する。

請求項（抜粋）：

液晶セルを搬送しながら、その表裏両面を洗剤を含む洗浄液で洗浄する液晶セルの洗浄装置において、上記液晶セルの搬送方向の上流側から下流側に沿って順に並べられた第1ないし第4ステージと、上記液晶セルを吸着固定して上記第1および第2ステージ間を往復的に移動する第1基板搬送手段と、同第1基板搬送手段にて搬送される上記液晶セルの一方の面を上記洗浄液で洗浄する第1洗浄手段と、上記液晶セルを吸着固定して上記第3および第4ステージ間を往復的に移動する第2基板搬送手段と、同第2基板搬送手段にて搬送される上記液晶セルの他方の面を上記洗浄液で洗浄する第2洗浄手段と、上記第1基板搬送手段にて上記第2ステージに搬送された上記液晶セルを、その表裏を反転させて上記第3ステージに位置している上記第2基板搬送手段に受け渡す移載手段とを備えていることを特徴とする液晶セルの洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 3/02 , B08B 1/04 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

FI (4件)：

B08B 3/02 C , B08B 1/04 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

Fターム (34件)：

2H088FA17 , 2H088FA21 , 2H088HA01 , 2H088MA20 , 2H090JC19 , 2H090LA15 , 3B116AA02 , 3B116AB14 , 3B116AB23 , 3B116AB27 , 3B116AB42 , 3B116BA02 , 3B116BA13 , 3B116BA14 , 3B116BB22 , 3B116BB33 , 3B116CC01 , 3B116CC03 , 3B116CD41 , 3B201AA02 , 3B201AB14 , 3B201AB23 , 3B201AB27 , 3B201AB42 , 3B201BA02 , 3B201BA13 , 3B201BA14 , 3B201BB22 , 3B201BB33 , 3B201BB92 , 3B201CB15 , 3B201CC01 , 3B201CC12 , 3B201CD41

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