特許

J-GLOBAL ID：200903078712292290

金属反射鏡およびその製造方法

発明者： 辰巳 俊平
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-165341
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343510
出願日： 2000年06月02日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】 プラスチック基板に成膜されるAg膜等の耐久性向上と高品質化を促進する。【解決手段】 PC等のプラスチック基板1の上に、酸素含有量が膜厚方向に変化する酸化Cr層を有する不均質Cr膜のアンダーコート2を成膜し、その上にAg膜等の金属反射膜3を成膜し、さらにその上にAl2 O3 等を含む誘電体のオーバーコート4を設ける。不均質Cr膜のアンダーコート2は、プラスチック基板1に密着する最下層が酸素含有量の最も多い酸化Cr層であり、金属反射膜3に密着する最上層は酸素を含まないCr層であるから、基板と金属反射膜の双方に対して結合力が強く、耐久性に優れている。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上にアンダーコートを介して積層された金属反射膜を備えており、前記アンダーコートが、膜厚方向に酸素含有量が変化する酸化Cr層を有する不均質Cr膜であることを特徴とする金属反射鏡。

IPC (2件)：

G02B 5/08 ,  G02B 1/10

FI (3件)：

G02B 5/08 C ,  G02B 5/08 A ,  G02B 1/10 Z

Fターム (16件)：

2H042DA02 ,  2H042DA04 ,  2H042DA05 ,  2H042DA07 ,  2H042DA08 ,  2H042DA11 ,  2H042DA15 ,  2H042DA18 ,  2H042DB00 ,  2H042DC02 ,  2K009BB11 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009DD03 ,  2K009DD08 ,  2K009EE05