特許
J-GLOBAL ID:200903078717825378

光学的スペクトル領域の電磁放射線または放射線束の偏向装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 竹沢 荘一 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-535954
公開番号(公開出願番号):特表2002-506999
出願日: 1999年03月10日
公開日(公表日): 2002年03月05日
要約:
【要約】本発明は、光学的スペクトル領域の電磁放射線または放射線束、特に、レーザ光束の偏向装置であって、屈折または反射によって入射する放射線(8a-i;9;14a-c;15a-b;16a-b;24;26;29a-c)の偏向を実現できる少なくとも1つの光学的機能性境界面(2,20,22,36,37,38,39)を有する少なくとも1つの偏向素子(1,18,21,30,32,33)を含む形式のものに関する。上記光学的機能性境界面(2,20,22)は、本質的に光学的機能性境界面(2,20,22)内にある第1方向(x)に沿って、本質的に光学的機能性境界面(2,20,22)内にあり、第1方向(x)と、ほぼ直角の方向(y)に関する光学的機能性境界面(2,20,22)の局部的傾斜が、少なくとも部分的に定常的に変化するよう、湾曲されている。
請求項(抜粋):
光学的スペクトル領域の電磁放射線または放射線束、特に、レーザ光束の偏向装置であって、屈折または反射によって入射する放射線(8a-i;9;14a-c;15a-b;16a-b;24;26;29a-c)または放射線束(34a-c)の偏向を実現できる少なくとも1つの光学的機能性境界面(2,20,22,36,37,38,39)を有する少なくとも1つの偏向素子(1,18,21,30,32,33)を含む形式のものにおいて、本質的に光学的機能性境界面(2,20,22)内にある第1方向(x)に沿って、本質的に光学的機能性境界面(2,20,22)内にあり、かつ第1方向(x)とほぼ垂直な方向(y)に関する光学的機能性境界面(2,20,22)の局部的傾斜が、少なくとも部分的に定常的に変化するよう、光学的機能性境界面(2,20,22)が、湾曲されていることを特徴とする偏向装置。
IPC (2件):
G02B 26/08 ,  G02B 27/09
FI (2件):
G02B 26/08 D ,  G02B 27/00 E
Fターム (6件):
2H041AA12 ,  2H041AB24 ,  2H041AB26 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ00 ,  2H041AZ08
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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