特許
J-GLOBAL ID：200903078722598827
X線データ測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-067167
公開番号（公開出願番号）：特開平5-275044
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 任意の方向でステージを連続的に滑らかに駆動し線分析を行うことができるX線データ測定装置を提供する。【構成】 試料5から発生する特性X線7を検出するX線検出手段10、一定の間隔でX線測定ゲートをオンにしてX線検出手段10からX線データを取り込むX線計測手段11、試料ステージ6を各駆動軸方向に駆動する複数の駆動手段16〜21、及び指定された試料上の開始点と終了点から複数の各駆動手段16〜21の駆動量を計算すると共に駆動量の大きい駆動軸を求めて複数の駆動手段16〜21やX線計測手段11を制御し計測されたX線データを測定処理するデータ処理制御手段14を備え、X線計測手段11により駆動量の大きい駆動軸の駆動手段19〜21の駆動信号に基づいてX線測定ゲートのオン間隔を制御する。
請求項（抜粋）：
試料に電子線を照射して試料ステージを任意方向に駆動することによって試料上の開始点から終了点まで電子線を直線的に走査し試料から発生する特性X線のデータ収集を行い線分析を行うX線データ測定装置において、試料から発生する特性X線を検出するX線検出手段、一定の間隔でX線測定ゲートをオンにしてX線検出手段からX線データを取り込むX線計測手段、試料ステージを各駆動軸方向に駆動する複数の駆動手段、及び指定された試料上の開始点と終了点から複数の各駆動手段の駆動量を計算すると共に駆動量の大きい駆動軸を求めて複数の駆動手段やX線計測手段を制御し計測されたX線データを測定処理するデータ処理制御手段を備え、X線計測手段により駆動量の大きい駆動軸の駆動手段の駆動信号に基づいてX線測定ゲートのオン間隔を制御するように構成したことを特徴とするX線データ測定装置。
IPC (2件)：
H01J 37/252
, G01N 23/225
