特許

J-GLOBAL ID：200903078733902510

電子ビーム出射装置

発明者： 千賀 岳人
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-324654
公開番号（公開出願番号）：特開2002-323600
出願日： 2001年10月23日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】 絶縁オイルを使用せずに、ケーシング内の電子ビーム管の絶縁を十分に保ち、確実に電子ビームを出射することができるとともに、電子ビーム管の窓から安定した電子ビームを出射することができる電子ビーム出射装置を提供することにある。【解決手段】 本発明の電子ビーム出射装置は、内部に電子ビーム発生部11を有し前面に電子ビームが透過する窓1dを有する出射部1cが形成され、電子ビーム発生部11に電圧を印加して電子ビームを出射する電子ビーム管1と、電子ビーム管1を内部で保持するとともに電子ビーム管1の出射部1cが外部に露出するように設けられたケーシング5とよりなる電子ビーム出射装置であって、ケーシング5内にドライガスが流れていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

内部に電子ビーム発生部を有し前面に電子ビームが透過する窓を有する出射部が形成され、電子ビーム発生部に電圧を印加して当該電子ビーム発生部と出射部との電位差により電子ビームを出射する電子ビーム管と、当該電子ビーム管を内部で保持するとともに電子ビーム管の出射部が外部に露出するように設けられたケーシングとよりなる電子ビーム出射装置であって、前記ケーシング内にドライガスが流れていることを特徴とする電子ビーム出射装置。

IPC (3件)：

G21K 5/00 ,  G03F 7/20 504 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G21K 5/00 B ,  G03F 7/20 504 ,  H01L 21/30 565

Fターム (6件)：

2H097CA16 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5F046KA01 ,  5F046LA18 ,  5F046LA19