特許
J-GLOBAL ID:200903078736955436
シルセスキオキサンポリマー組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西川 繁明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-085520
公開番号(公開出願番号):特開平6-271771
出願日: 1993年03月19日
公開日(公表日): 1994年09月27日
要約:
【要約】【目的】 より低温で酸化架橋反応が進み、耐クラック性が高く、リフロー温度の低いシルセスキオキサンポリマー組成物を提供すること。【構成】 一般式(1)【化1】で表される繰り返し単位、及び所望により一般式(2)【化2】で表される繰り返し単位及び/または一般式(3)【化3】で表される繰り返し単位を有し、重量平均分子量が400〜1,000,000の範囲で、フッ素含有量が0〜20重量%の範囲であるシルセスキオキサンポリマー、及び有機アルミニウム化合物を含有してなることを特徴とするシルセスキオキサンポリマー組成物。
請求項(抜粋):
一般式(1)【化1】で表される繰り返し単位、及び所望により一般式(2)【化2】で表される繰り返し単位及び/または一般式(3)【化3】で表される繰り返し単位を有し、重量平均分子量が400〜1,000,000の範囲で、フッ素含有量が0〜20重量%の範囲であるシルセスキオキサンポリマー、及び有機アルミニウム化合物を含有してなることを特徴とするシルセスキオキサンポリマー組成物。
IPC (5件):
C08L 83/05 LRV
, C08K 5/56
, C08L 83/08
, H01L 21/312
, H01L 21/314
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